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    加熱型紫外臭氧清洗機

    簡要描述:PCE-22是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機,其加熱溫度可達150℃。此款設備可用于清洗各種基片,為制作高質量的薄膜打好基礎。特別適合移除光刻膠,改善表面潤濕性,清洗SEM &TEM,紫外對聚合物改性等。
    紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段,特別適合清除一些有機化合物。紫外燈主要發出兩種波長的光:185nm和254nm。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變為臭氧

    • 產品型號:PCE-22
    • 廠商性質:生產廠家
    • 更新時間:2021-11-15
    • 訪  問  量:1754
    詳細介紹

     PCE-22是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機,其加熱溫度可達150℃。此款設備可用于清洗各種基片,為制作高質量的薄膜打好基礎。特別適合移除光刻膠,改善表面潤濕性,清洗SEM &TEM,紫外對聚合物改性等。
       紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段,特別適合清除一些有機化合物。紫外燈主要發出兩種波長的光:185nm和254nm。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變為臭氧,254nm可以破壞化合物中的鍵(特別是碳碳鍵)。所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機化合物。

     

    技術參數

    電源

    AC 208~240V,單相 50/60Hz

    紫外燈

    • 可發出雙波長的水銀燈
    • 功率:55W
    • 發出光的波長:254 nm 和 185 nm 
    • 使用壽命:2500 小時(可在本公司購買紫外燈來更換)
    • 照射區域:200 x 200 mm

    腔體&樣品臺

    • 不銹鋼殼體
    • 抽屜式樣品臺,以便放樣取樣
    • 樣品臺面積310 mm x 320 mm
    • 臭氧通風裝置安裝在腔體上
    • 樣品臺與紫外燈的距離:20mm -40mm(可調)
    • 樣品臺可以加熱,zui高溫度可達150℃
    • 可設置20段升降溫程序,控溫精度為+/-1℃
    • 設備運行時間:0.01 秒- 99.9小時

    排氣口

    • 直徑為80mm的排氣口安裝在儀器后端
    • 請將橡膠管與排氣口連接,將臭氧排出到實驗室外
    • 儀器中不包含橡膠管

    外形尺寸

    510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)
     

    凈重

    28kg

    質保期

    一年質保期,終生維護(不包含紫外燈)

    應用

    • 去除分子級別的污染物
    • 紫外光固化粘合劑
    • 紫外光催化
    • 氧化PDMS
    • 表面消毒
    • 刻蝕
    • 清洗MEMS 器件
    • 清洗各種基片,如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片
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