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    小型大口徑開啟式管式爐--OTF-1200X-5S

    簡要描述:OTF-1200X-5S是一款CE認證的小型開啟式管式爐,其Z高工作溫度可以達到1000℃。爐管Φ130mm的高純石英管。設備配有一對不銹鋼密封法蘭,可在真空或氣氛保護環境下對樣品進行熱處理。對于控溫系統,可設置30段升降溫程序,控溫精度為+/- 1℃。此款管式爐Z多可對4英寸的晶片進行退火。

    • 產品型號:OTF-1200X-5S
    • 廠商性質:生產廠家
    • 更新時間:2021-11-15
    • 訪  問  量:1259
    詳細介紹

    OTF-1200X-5S是一款CE認證的小型開啟式管式爐,其zui高工作溫度可以達到1000℃。爐管Φ130mm的高純石英管。設備配有一對不銹鋼密封法蘭,可在真空或氣氛保護環境下對樣品進行熱處理。對于控溫系統,可設置30段升降溫程序,控溫精度為+/- 1。此款管式爐zui多可對4英寸的晶片進行退火。

     

    技術參數

    爐體結構

    • 雙層殼體結構
    • 采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料,并且表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率,保證溫度均勻性
    • 此款管式爐也可做為立式爐使用(點擊圖片查看詳細資料)
    •   

    功率

    3KW

    電壓

    220VAC 50/60Hz

    zui高工作溫度

    1000℃(<1小時)

    連續工作溫度

    900℃

    zui大加熱速率

    20℃/min

    加熱區

    • 加熱區長度:300mm
    • 恒溫區長度:
    • 100 mm (+/-1ºC )
    • 140 mm (+/-2ºC ) 

    溫控系統

    • 采用PID方式調節溫度,可設置30段升降溫程序
    • 帶有超溫和斷偶保護
    • 可選購MTS02-B控溫模塊,可用電腦設置和顯示溫度程序
    •                

    歐陸儀表(可選)

    • 可選購歐陸3504溫控儀表,可與LABVIEW軟件比配

    控溫精度

    +/- 1°C

    爐管

    • 石英管,尺寸:130mm O.D x 120mm I.D x 640mmL
    • 配有2個氧化鋁管堵,使用設備時應放在爐管兩端,保證恒溫區和法蘭密封性
    • 可選購石英管堵,提高爐管內的潔凈度和幫助獲得高真空
    •       

    真空密封法蘭

    • 配有一對不銹鋼密封法蘭,采用硅膠密封圈密封
    • 右端法蘭為KF25接口,用于連接真空泵
    • 左端法蘭上安裝有機械壓力表,接口為1/4英寸卡套接頭,用于連接氣瓶
    • 真空度:10-2torr (采用機械泵)
    • 可選:5英寸的水冷鉸鏈法蘭,并帶有支撐架
    • 水冷法蘭通入冷卻水后,設備zui高溫度可以達到1100℃(<1小時)    

    真空壓力表

    • 安裝有一機械壓力表,測量范圍為-0.1~0.15MPa
    • 可選購數顯防腐真空計當氣壓在10mbar以上時,不需因測量氣體種類不同而進行系數轉換,測量范圍為3.8x10-5 -1125 Torr
    •    

    鎧裝熱電偶(可選)

    • 可選購鎧裝K型熱電偶,通過法蘭的鎧裝孔伸入到爐管內部,測量樣品的實際溫度
    • 可選購一個法蘭支撐架,防止爐管轉動
    •          

    尺寸

    • 爐蓋打開關閉時: 430mm(L) × 480mm(W) × 480mm(H) 
    • 爐蓋打開時 : 660mm(L) × 480mm(W) × 720mm(H)

    凈重

    48 Kg

    質保期

    一年質保期,終生維護(不包含爐管,密封圈和加熱元件)

    質量認證

    • CE認證
    • 所有電器元件(>24V)都通過UL / MET / CSA認證
    • 若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證
    •      

    應用注意事項

    •  
    • 爐管內氣壓不可高于0.02MPa
    • 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
    • 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態
    • 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
    • 石英管的長時間使用溫度<1100℃
    • 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)
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