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    含滑軌法蘭的管式爐--OTF-1200X-SF

    簡要描述:OTF-1200X-4-SF是一款爐管尺寸為100mm,帶有滑軌法蘭的管式爐,Z高工作溫度為1200℃,此款管式爐專為客戶自己搭建CVD系統而設計。

    • 產品型號:OTF-1200X-SF
    • 廠商性質:生產廠家
    • 更新時間:2021-11-15
    • 訪  問  量:794
    詳細介紹

    OTF-1200X-4-SF是一款爐管尺寸為100mm,帶有滑軌法蘭的管式爐,zui高工作溫度為1200℃,此款管式爐專為客戶自己搭建CVD系統而設計。

     

    技術參數

    爐體結構

    • 爐管尺寸:100mmO.Dx94mmI.Dx750mmL(石英管)
    • zui高工作溫度為1100℃
    • 右端安裝有一水冷滑軌法蘭,以便于放樣和取樣
    • 在預熱爐體和主反應爐體之間有一水冷法蘭
    • 左端水冷法蘭上有個氣體接口,用于客戶通入反應氣體(點擊圖片查看詳細資料)
    •  

    電源

    單相, 220V AC, 50/60 Hz

    zui大功率    

    3.6KW(需要20A的空氣開關)

    加熱區

    • 主反應爐:440mm
    • 恒溫區:100mm

    溫控系統

    • 采用PID方式來調節溫度,可設置30段升降溫程序
    • 采用K型熱電偶
    • 控溫精度:+/- 1
    • 可選購控溫軟件,可通電腦來設置和顯示溫度程序
    •   

    密封法蘭

    右端法蘭:

    • 水冷卻法蘭,通過冷卻循環水對密封圈進行水冷(可在本公司購買循環水冷機)
    • 法蘭上有KF25接口,可通過波紋管與真空泵相連接
    • 爐體內的樣品臺與法蘭相連接,并且右端法蘭為滑軌法蘭,以便于放樣和取樣
    • 法蘭上安裝有一數顯防腐真空計(如下圖)

    凈重

    100kg

    尺寸

     

    • 右端法蘭關閉時的尺寸:1220mm×458mm×585mm(48"L X 18"W X 23"H)
    • 右端法蘭打開時的zui大尺寸:1676mm×458mm×585mm(66"L X 18"W X 23"H)

    質保

    一年質保期,終身維護(不包含爐管、密封圈和加熱元件)

    質量認證

    • 質量認證
    • 所有電器元件(輸入電壓>24V)都通過了UL認證
    • 本公司所有高溫爐都可通過TUV、UL或CSA認證
    •      

    注意事項

    • 爐管內氣壓(相對氣壓)需小于0.02MPa
    • 所用氣瓶上必須安裝減壓閥(可在本公司購買減壓閥)
    • 當設備溫度高于1000℃時,爐管內部不可處于真空狀態,需處于常壓或微正壓狀態
    • 進氣流量需小于200sccm
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