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    高真空蒸發鍍膜儀可實現多層涂裝混合涂裝

    發布時間:2021-09-14

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      高真空蒸發鍍膜儀采用前開門真空室設計,室高增加到500mm。樣品臺與蒸發源之間的距離有較大的調節范圍,可適應多種蒸發要求,避免樣品在蒸發源中高處損壞。
      高真空蒸發鍍膜儀配有四套鎢舟蒸發源和水冷銅電極。每個蒸發源支持100A的大電流和1800°C的加熱溫度,可實現多層涂裝或多種材料混合涂裝。型腔采用上樣品臺,樣品臺可旋轉、加熱、升降,所有操作均可通過觸摸屏集成控制。設備真空系統為兩級旋片泵和渦輪分子泵組成的兩級真空系統,可提供潔凈無油的高真空環境。該設備配有氣動閥門系統。通過操作系統的自動控制,用戶可以通過觸摸屏進行一鍵抽真空、不停機采樣、完全關機等操作。
      蒸發鍍膜儀可提供100A的鍍膜電流,蒸發溫度可達1800℃,可滿足各種普通金屬的蒸發和部分非金屬的蒸發。真空室由非不銹鋼制成。出廠時已脫氣,配合分子泵組可達到極限真空,可滿足大部分物料蒸發所需的真空環境。真空室采用翻蓋式開啟方式,取放方便。腔體設有帶擋板的自適應觀察窗,用于觀察鍍膜過程,擋板可有效防止觀察窗被薄膜材料污染。
      高真空蒸發鍍膜儀是一個多功能系統,具有靈活性和模塊化可擴展性,可適應不同的樣品制備。它可用于從蒸籠和坩堝以及可選的濺射附件蒸發中蒸發碳和金屬??梢詰靡幌盗薪涍^驗證的技術,包括碳涂層和TEM涂層、碳/金屬蒸發、使用雙源蒸發的小角度和順序涂層,并且可選的濺射涂層附件可以應用于各種目標。
      1、采用微處理器控制器,提高了系統的靈活性,用戶可以方便地添加各種選項。但是,這些“默認”操作已經過優化,因此可以實現自動和手動操作。
      2、獨特的抽屜式上樣系統,方便用戶放入各種樣品,鉸接式頂蓋結構方便到達系統其他區域。
      3、渦輪分子泵安裝在系統外,蒸發鍍膜儀安裝更換方便。它的前置真空是旋轉真空泵。整個抽氣過程是全自動的,達到高真空后會蒸發。儀器為臺式,使用中疏忽易控制,易損壞。
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